空氣軸承定位平臺(tái)
針對(duì)先端半導(dǎo)體與面板制程設(shè)備所開(kāi)發(fā)之奈米空氣軸承定位平臺(tái)。領(lǐng)先同業(yè)采用新型真空預(yù)壓低耗能氣浮軸承、動(dòng)態(tài)反作用力平衡與慣性補(bǔ)償技術(shù),可于千分之一秒內(nèi)達(dá)到奈米誤差內(nèi)要求,大幅減少運(yùn)動(dòng)整定時(shí)間與組件磨耗率,提升設(shè)備生產(chǎn)力與可靠性。完整智能化遠(yuǎn)程系統(tǒng)偵測(cè)與全球客服支持提供,幫助客戶大幅縮短設(shè)備開(kāi)發(fā)時(shí)程,節(jié)省許多整合時(shí)間與成本,使其更聚焦本身關(guān)鍵制程Know-how。
空氣軸承
非接觸式空氣軸承LMAS
非接觸式空氣軸承提供更佳的定位精度
嵌入式磁性預(yù)壓設(shè)計(jì),提升穩(wěn)定性
提供極平滑的運(yùn)動(dòng)與快速的整定時(shí)間
無(wú)鐵芯式線性馬達(dá),無(wú)磁頓力
高解析回饋搭配線性光學(xué)編碼器
提供高繞性的纜線管理
適用于潔淨(jìng)室 ,無(wú)需潤(rùn)滑好保養(yǎng)
低速度漣波
應(yīng)用于精密定位、校驗(yàn)系統(tǒng)、掃描應(yīng)用、晶圓檢測(cè)、無(wú)塵環(huán)境

